发明名称 EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0490552(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 JP19900203961 申请日期 1990.08.02
申请人 CANON INC 发明人 HOSHI JUNICHI
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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