| 发明名称 |
ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS EQUIPPED WITH OPTIMIZATION JUDGMENT DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0491424(A) |
申请公布日期 |
1992.03.24 |
| 申请号 |
JP19900205031 |
申请日期 |
1990.08.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKADA IKUO;KATAYAMA YASUNORI |
| 分类号 |
G06F9/44;G05B13/02;G06N5/04;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G06F9/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
