| 发明名称 |
INSPECTING DEVICE FOR FORMING MATTER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0491452(A) |
申请公布日期 |
1992.03.24 |
| 申请号 |
JP19900206270 |
申请日期 |
1990.08.01 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
AKIYAMA MINORU;ECCHU MASAO;TANAKA HITOSHI;TOMOTA TOSHIMASA |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
