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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0491442(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 JP19900207177 申请日期 1990.08.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKIGAWA HIROSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/365 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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