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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0491453(A)
申请公布日期
1992.03.24
申请号
JP19900206255
申请日期
1990.08.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAWARABAYASHI SHINYA
分类号
H01L21/76;H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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