| 发明名称 |
MAGENTRON SPUTTERING TARGETS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920002464(B1) |
申请公布日期 |
1992.03.24 |
| 申请号 |
KR19880008074 |
申请日期 |
1988.06.30 |
| 申请人 |
THE BOC GROUP INC. |
发明人 |
DEMARAY, RICHARD E.;CRUMLEY, GARY B. |
| 分类号 |
H01J37/32;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/36;H01J37/305;H01J37/34;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/203 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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