发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 US5098855(A) 申请公布日期 1992.03.24
申请号 US19900479151 申请日期 1990.03.28
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOMORI, KAZUHIRO;KURODA, KENICHI;SUGIURA, JUNE
分类号 H01L21/28;H01L21/8247;H01L27/105 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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