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发明名称
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摘要
申请公布号
KR920002370(B1)
申请公布日期
1992.03.23
申请号
KR19880013430
申请日期
1988.10.14
申请人
TOSIBA CORP.
发明人
GOMATSU, HUMIO
分类号
H01J37/244;G01B15/00;G01N23/225;H01J37/22;H01J37/252;H01J37/28;H01L21/027;H01L21/66;H04N1/409;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
H01J37/244
代理机构
代理人
主权项
地址
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