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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH0488168(A) 申请公布日期 1992.03.23
申请号 JP19900204557 申请日期 1990.08.01
申请人 ANELVA CORP 发明人 ISHIBASHI KEIJI
分类号 C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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