发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0488641(A) 申请公布日期 1992.03.23
申请号 JP19900203561 申请日期 1990.07.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UCHIKOGA SHIYUUICHI
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
地址