发明名称 |
FORMING METHOD OF MES STRUCTURE ELECTRODE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0488679(A) |
申请公布日期 |
1992.03.23 |
申请号 |
JP19900204528 |
申请日期 |
1990.08.01 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
SHIKADA SHINICHI |
分类号 |
H01L21/314;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;H01L29/872 |
主分类号 |
H01L21/314 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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