发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR920002350(B1) 申请公布日期 1992.03.21
申请号 KR19880005839 申请日期 1988.05.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC CO., LTD. 发明人 KOBUSHI, KATSUHIRO;KAMEYAMA, SUUIJI;OKADA, SYOOJOO;TSUJI, KATSUHIKO
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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