| 摘要 |
Un instrument optique permettant de mesurer les caractéristiques d'une éprouvette ou un échantillon comprend une source de lumière (10) pour projeter un faisceau (14) sur la surface de l'échantillon suivant un angle d'incidence oblique choisi beta. L'instrument contient un photosenseur (30) pour recevoir le rayon réfléchi par l'échantillon suivant le même angle beta. Un conducteur (31) est prévu pour acheminer le courant vers un appareil de conditionnement de signaux (21) utilisé pour comparer le courant provenant de deux photosenseurs ou davantage à partir de segments différents du même photosenseur fournissant des informations relatives à l'échantillon. Un photosenseur (30) est positionné face à l'échantillon sur un axe optique normal à la surface de l'échantillon et entre les faisceaux incident et réfléchi de la source de lumière pour recevoir un faisceau réfléchi de l'échantillon normal à sa surface. Des signaux provenant des photosenseurs sont envoyés à l'appareil de conditionnement de signaux (21) pour mesurer la puissance optique et comparer les signaux en vue de mesurer des caractéristiques de la surface. |
