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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR PRUEFUNG VON OBERFLAECHEN
摘要
申请公布号 DE4130217(A1) 申请公布日期 1992.03.19
申请号 DE19914130217 申请日期 1991.09.11
申请人 HAJIME INDUSTRIES, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HYODO, SHIGETOSHI, AMAGASAKI, HYOGO, JP;OKAMURA, KOJI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/952 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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