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发明名称 BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0487345(A) 申请公布日期 1992.03.19
申请号 JP19900202829 申请日期 1990.07.30
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SUZUKI YASUHIRO;KURIBAYASHI HISAO;YAMAMOTO TOSHIO;ONO TAKAHIDE;MARUYAMA TADAKATSU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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