发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH0487365(A) 申请公布日期 1992.03.19
申请号 JP19900203086 申请日期 1990.07.31
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KANBAYASHI HIROSHI;TAKAHASHI KOJI
分类号 H01L27/04;H01L21/28;H01L21/329;H01L21/82;H01L21/822;H01L29/43;H01L29/78 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址