发明名称 VERFAHREN ZUR GESTALTUNG DES METALLISIERUNGSAUFBAUES VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD298973(A5) 申请公布日期 1992.03.19
申请号 DD19870310453 申请日期 1987.12.15
申请人 HALBLEITERWERK-GMBH FRANKFURT (ODER),DE 发明人 KRUEGER,DIETMAR,DE;KRAUSE,MICHAEL,DE;RIEPEL,GEORG,DE
分类号 H01L21/28;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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