发明名称 MANUFACTURE OF VACUUM FLANGE AND VACUUM SEALING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0487633(A) 申请公布日期 1992.03.19
申请号 JP19900202520 申请日期 1990.08.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHIMARU YOSHIYASU
分类号 B01J3/00;B01J3/03 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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