偏锡酸锌气敏元件

摘要

本发明用ZnSnO3或Zn2Sn4，添加一定的SiO2，Al(OH)3作为填充剂和粘合剂，通过研磨、涂料、烧结等工艺可制成直热式、旁热式等半导体气敏元件。采用丝网印刷技术、真空蒸发及贱射技术，亦可制厚膜或薄膜型半导体气敏元件。经测试表明，用上述材料和工艺制成的气敏元件，对氢、水煤气等气体敏感，具有较高的稳定性和选择性。可用于氢、水煤气、石油液化气等的检测及报警。

主权项

1、一种半导体气敏元件，由烧结工艺制成，其结构可以是直热式或旁热式(含厚膜型)，包括电极，敏感材料，底座，不锈钢网罩，旁热式还包括瓷体，其特征在于所述的气敏材料的主体是偏锡酸锌，并加以适量的SiO2和Al(OH)3。