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发明名称
PROCESS FOR THE QUANTITATIVE DETERMINATION OF THE SHAPE OF RELIEF PATTERNS HAVING VERY SMALL DIMENSIONS
摘要
申请公布号
EP0274966(B1)
申请公布日期
1992.03.18
申请号
EP19870420330
申请日期
1987.12.08
申请人
GUILLAUME, MICHEL
发明人
GUILLAUME, MICHEL
分类号
G01B11/24;G01B11/02
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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