| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET OPWEKKEN VAN EEN HOOGVACUUEM IN EEN RECIPIENT. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL172214(B) |
申请公布日期 |
1983.03.01 |
| 申请号 |
NL19780000199 |
申请日期 |
1978.01.06 |
| 申请人 |
BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT FUER HOCHVAKUUMTECHNIK UND DUENNE SCHICHTEN TE BALZERS, LIECHTENSTEIN. |
发明人 |
|
| 分类号 |
B01J3/00;C23C14/56;(IPC1-7):B01J3/00 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
