| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0265504(B1) |
申请公布日期 |
1992.03.18 |
| 申请号 |
EP19870903191 |
申请日期 |
1987.04.28 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
KOZE, JEFFREY, THOMAS |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/40;H01L21/22;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
