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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0485934(A) 申请公布日期 1992.03.18
申请号 JP19900202025 申请日期 1990.07.30
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KOIKE MICHIMARO;YAJIMA KUNIO
分类号 H01L21/322;H01L21/8222;H01L27/082 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
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