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发明名称 LAMP ANNEALING APPARATUS AND LAMP ANNEALING METHOD
摘要
申请公布号 EP0454054(A3) 申请公布日期 1992.03.18
申请号 EP19910106511 申请日期 1991.04.23
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 SHIGA, NOBUO, C/O YOKOHAMA WORKS
分类号 H01L21/26;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
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