| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0485926(A) |
申请公布日期 |
1992.03.18 |
| 申请号 |
JP19900202084 |
申请日期 |
1990.07.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MIYAJIMA AKIO;MORITA KIYOYUKI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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