发明名称 METHOD OF APPLYING A BEVELLED EDGE CONTOUR TO A SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 EP0264679(B1) 申请公布日期 1992.03.18
申请号 EP19870114331 申请日期 1987.10.01
申请人 BBC BROWN BOVERI AG 发明人 DLOUHY, JIRI
分类号 B24B9/06;B24B9/00;H01L21/304;H01L29/06;H01L29/74 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
主权项
地址