| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING ION BEAM COLLIMATION, SHAPING THE ION BEAM AND CONTROLLING SCANNING THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0457321(A3) |
申请公布日期 |
1992.03.18 |
| 申请号 |
EP19910107947 |
申请日期 |
1991.05.16 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED |
发明人 |
ISOBE, MICHIRO |
| 分类号 |
G01T1/29;G21K1/087;G21K5/04;H01J37/04;H01J37/147;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/304 |
主分类号 |
G01T1/29 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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