| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0483334(A) |
申请公布日期 |
1992.03.17 |
| 申请号 |
JP19900198557 |
申请日期 |
1990.07.25 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KITANO KATSUHISA;ODA MASAO;IWASA TATSUYA |
| 分类号 |
C30B25/00;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C30B25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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