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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0483865(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900199458 申请日期 1990.07.27
申请人 MITSUMI ELECTRIC CO LTD 发明人 ONO TADASHI;KASHIWAGI TAKAYOSHI
分类号 C23C14/22;C23C14/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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