发明名称 VAPOR PHASE SYNTHESIS OF DIAMOND
摘要
申请公布号 JPH0483796(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900194624 申请日期 1990.07.23
申请人 HITACHI CHEM CO LTD 发明人 YAMANOI KIYOSHI;INOUE MITSUHIRO
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
地址