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发明名称 HEAT TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0484420(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900200462 申请日期 1990.07.27
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 YAMAGA KENICHI
分类号 C23C16/44;F27B17/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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