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发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING WIRING PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0483107(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900197384 申请日期 1990.07.25
申请人 SHARP CORP 发明人 ICHIKAWA MASAMI
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;H04N7/18 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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