| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN-FILM SUPERCONDUCTOR AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0483716(A) |
申请公布日期 |
1992.03.17 |
| 申请号 |
JP19900197296 |
申请日期 |
1990.07.25 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SETSUNE KENTARO;SATO TOSHIFUMI |
| 分类号 |
C01G3/00;C01G1/00;C30B29/22;H01B12/00;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01G3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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