发明名称 GROWTH METHOD OF COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0483332(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 JP19900196291 申请日期 1990.07.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII TAKUYA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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