| 发明名称 |
COATING AND EXPOSURE EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0484410(A) |
申请公布日期 |
1992.03.17 |
| 申请号 |
JP19900200441 |
申请日期 |
1990.07.27 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON KIYUUSHIYUU KK |
发明人 |
KIMURA YOSHIO |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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