发明名称 METHOD OF MAKING FIELD EFFECT TRANSISTORS IN AN INNER REGION OF A HOLE
摘要
申请公布号 US5096845(A) 申请公布日期 1992.03.17
申请号 US19900496714 申请日期 1990.03.21
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKA KAISHA 发明人 INOUE, YASUO
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/118;H01L29/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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