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发明名称
FORMATION OF CONTACT
摘要
申请公布号
JPH0482216(A)
申请公布日期
1992.03.16
申请号
JP19900196620
申请日期
1990.07.24
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAIMOTO HIROYUKI
分类号
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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