| 发明名称 |
METHOD FOR INSPECTING ELECTRIC CHARACTERISTICS OF INTEGRATED CIRCUIT ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0481674(A) |
申请公布日期 |
1992.03.16 |
| 申请号 |
JP19900195446 |
申请日期 |
1990.07.24 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
FUKUNAGA SATORU;SHIMOYAMA AKIO;HISATOMI JUNICHIRO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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