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发明名称 VORRICHTUNG FUER DIE PRUEFUNG UND/ODER BEARBEITUNG VON KLEINBAUTEILEN.
摘要
申请公布号 AT73577(T) 申请公布日期 1992.03.15
申请号 AT19860109843T 申请日期 1986.07.17
申请人 HERRMANN, JAKOB 发明人 HERRMANN, JAKOB
分类号 G01R31/28;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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