| 发明名称 |
CRYSTLA THIN FILM FORMING METHOD AND CRYSTAL THIN FILM FORMED BY THIS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0480916(A) |
申请公布日期 |
1992.03.13 |
| 申请号 |
JP19900193948 |
申请日期 |
1990.07.24 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
SATO NOBUHIKO;YAMAGATA KENJI |
| 分类号 |
C30B25/04;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/84 |
主分类号 |
C30B25/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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