| 发明名称 |
SCANNING TUNNELING MICROSCOPE AND THROUGH-HOLE PLATING INSPECTION DEVICE INCLUDING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0480604(A) |
申请公布日期 |
1992.03.13 |
| 申请号 |
JP19900194603 |
申请日期 |
1990.07.23 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD |
发明人 |
FUKUCHI YASUHIKO |
| 分类号 |
G01B7/34;C23C2/14;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q60/10;H01J37/28 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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