发明名称 METHOD FOR RELAXING STRESS OF METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH0480356(A) 申请公布日期 1992.03.13
申请号 JP19900192809 申请日期 1990.07.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAGATA KENJI
分类号 C22F3/00;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/40;C23C14/58 主分类号 C22F3/00
代理机构 代理人
主权项
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