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发明名称
METHOD FOR RELAXING STRESS OF METAL FILM
摘要
申请公布号
JPH0480356(A)
申请公布日期
1992.03.13
申请号
JP19900192809
申请日期
1990.07.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAGATA KENJI
分类号
C22F3/00;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/40;C23C14/58
主分类号
C22F3/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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