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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0480948(A)
申请公布日期
1992.03.13
申请号
JP19900195422
申请日期
1990.07.24
申请人
HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD
发明人
AUCHI MAKOTO;KIMOTO RYOSUKE;KAMEOKA AKIHIKO;YAMADA MASARU;ONO TOSHIAKI
分类号
H01L23/02;H01L23/50
主分类号
H01L23/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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