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发明名称 PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 JPH0480368(A) 申请公布日期 1992.03.13
申请号 JP19900191913 申请日期 1990.07.19
申请人 DAIHEN CORP 发明人 MINOKE SHOICHIRO;TANIGUCHI MICHIO;SUGIO MASATO
分类号 C23C16/50;C23C16/505;C23C16/511;C23C16/52;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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