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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0479351(A)
申请公布日期
1992.03.12
申请号
JP19900195312
申请日期
1990.07.23
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
NISHIDA SOICHI
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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