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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0479312(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900194581 申请日期 1990.07.23
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIBASHI AKIRA;OGAWA MASAMICHI;FUNATO KENJI;NITTA SACHIYO
分类号 H01L21/205;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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