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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BICMOS-STRUKTUREN VON HOHER LEISTUNGSFAEHIGKEIT MIT POLYSILIZIUM-EMITTERN UND TRANSISTORBASEN AUS SILIZIDEN.
摘要
申请公布号
DE3776460(D1)
申请公布日期
1992.03.12
申请号
DE19873776460
申请日期
1987.07.10
申请人
FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP., CUPERTINO, CALIF., US
发明人
TUNTASOOD, PRATEEP, SAN JOSE CALIFORNIA 95148, US;MANOLIU, JULIANA, PALO ALTO CALIFORNIA 94303, US
分类号
H01L27/092;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
H01L27/092
代理机构
代理人
主权项
地址
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