发明名称 CIRCUIT FOR TESTING CHARACTERISTIC OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0478151(A) 申请公布日期 1992.03.12
申请号 JP19900192411 申请日期 1990.07.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KITADA MASA
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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