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经营范围
发明名称
CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0479224(A)
申请公布日期
1992.03.12
申请号
JP19900192710
申请日期
1990.07.20
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
UMEDA KATSUMI
分类号
C02F1/00;H01L21/304
主分类号
C02F1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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