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经营范围
发明名称
MICROWAVE PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号
JPH0479219(A)
申请公布日期
1992.03.12
申请号
JP19900193004
申请日期
1990.07.23
申请人
HITACHI LTD
发明人
WATANABE SEIICHI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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